آنالیز تاثیر نقص در لبه موجبر تپه ای ساخته شده در لیتیوم نایوبایت

در این تحقیق، قابلیت روش جدید ساخت موجبرهای تپه ای در لیتیوم نایوبایت مبتنی بر سونش فیزیکی با گاز آرگون و نفوذ تیتانیوم بررسی می شود. برای این منظور سهم مد انتشاری در قسمت برآمده موجبر تپه ای، اندازه­گیری و شبیه­سازی شده است. همینطور  اثرات نقص های دیواره های موجبر تپه ای که یکی از چالشهای این نوع موجبرها است، در مقدار تلفات نور منتشر شده در موجبر، شبیه سازی شده است. ارتفاع قسمت برآمده موجبر ساخته شده 2.5 میکرومتر است و نقص های موجود در دیوارهای کناری قسمت برآمده موجبرکه به دلیل فرایند لیتوگرافی و به خصوص ماسک نوری به وجود می آیند، به طور متوسط حدود 200 نانومتر اندازه گیری شده است. در این تحقیق با استفاده از شبیه سازی مقدار نفوذ تیتانیوم و توزیع ضریب شکست در موجبر، نشان داده شده است که با وجود  نقص های دیواره کناری موجبر، باتوجه به بکارگیری عمق مناسبی برای نفوذ تیتانیوم، ضمن دستیابی به سهم مد انتشاری حدود 50% در قسمت برآمده، تلفات انتشاری کمتر از db/cm 3 قابل دستیابی است.